Siliciumtetrafluorid (SiF4), eine Siliciumverbindung,
ist ein farbloses giftiges unbrennbares Gas. Es hat einen stechenden Geruch und ist bei
Feuchtigkeit stark rauchend. Siliciumtetrafluorid wird bei Abscheiden von fluoriertem Siliciumoxid, Ionenimplantation und
bei Trockenätzen von Halbleitermaterialien eingesetzt.
